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檢漏儀
產品簡介
?VS系列氦質譜檢漏儀是一款精良的寬量程氦質譜檢漏儀,它含有渦輪分子高真空泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜 儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作員界面,以及可選功能組件。
>> 咨詢熱線:13316689188 李國棟(經理)

       VS系列氦質譜檢漏儀是一款精良的寬量程氦質譜檢漏儀,它含有渦輪分子高真空泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜 儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作員界面,以及可選功能組件。VS MR15x 和 VS MD30x型號檢漏儀可選用雙輪車。 所有檢漏儀型號都適用于 100/115 VAC 和 230 VAC。

特點:
• 多種語言和計量單位選擇,可選中文界面
• 135º 電離偏轉 (自然聚焦點)的全新質譜技術,金屬密封結構
• 新的電子線路及信號處理設計
• 最小可檢漏率高、靈敏度覆蓋范圍可達12個量程
• 快速清氦和快速響應
• 測試口耐壓高,可實現大漏檢漏

性能指標
PR02/PD03
MR15和MD30
性能
前級泵內置式
前級泵外置式及小車
前級泵油式機械泵
DS-42, 2 m3/hr (34 l/m)
DS-302, 14 m3/hr (232 l/m)
渦卷式干泵
干泵-2 m3/hr (34 l/m)
TS-620 30 m3/hr (500 l/m)
最小可檢漏率在1000ppm的氦氣背景下
5×10-12 atm cc/sec;5×10-12 mbar l/s;5×10-13Pa m3/sec ,氦氣
測試口最高耐壓
13 mbar,10 Torr,1330 Pa
測試口處對氦氣抽速
1.8 l/s
校準
自動或手動(內置或外置)
氦本底清零
按鍵清零,并具有零點追蹤功能
操作界面
高清晰彩顯,TFT觸摸屏
語言選擇
中文/英語/法語/德語/日語/韓語/西班牙語
循環檢測
可編程粗抽時間/測試時間,設置報廢點
響應時間
<0.5秒
設定點
標準;5個設定點;常開或常閉;3個漏率點;1個壓強點;1個聲訊點
通訊協議
RS-232 通訊接口,9600波特率(9芯串口)
執行標準
UL,CE,CSA
無限遠程控制(選件) 2.4GHz ISM, 100m(328ft), 4AA電池/5VDC電源

氦質譜檢漏儀應用于工業真空爐、鍍膜系統、電子束焊接設備;電廠冷凝器、熱交換器、蒸汽管線、地下沖壓電纜;高能物理同步加速器、束線、同步輻射光源;電子掃描顯微鏡、半導體加工、薄膜制備、質譜分析、真空電子管、激光加工等領域。

檢漏儀

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